檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "電機工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="多圖案微影" and ckeyword.raw="多圖案微影"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
定向自組裝多圖案混合式微影(directed selfassembly technology with multiple patterning lithography)非常適用於製造 10 奈米以下…
2
使用嵌段共聚物(block copolymers, BCP)的定向組裝技術 (Directed self-assembly, DSA)已經是一項具有發展性的光刻技術,可以在集成電路上生成微小的圖像。…